(有)ヒューモテクノロジー  
 
 
 弊社は、長年に渡り半導体製造装置業界にて特注装置の設計・製作、装置の改良、カスタマイズ等に携わって参りました。
 ご存じかと思いますが半導体業界では気密性、クリーン度、安全性等は相当高いレベルを要求され、弊社の経験はガズ分離膜業界におきましても必ずお役に立てる事と思います。
 これまでに対向拡散VCD装置、膜反応器評価装置等の研究室向け実験装置や膜モジュール、分割環状炉、特注サイズのグラファイトパッキン等は多くの研究室様でご利用頂いております。
 また、装置内の配管や膜モジュール等は全てHeリークディテクターによるリークテストを行っておりますので、安心してお使い頂けます。
< 主な製品例 >
対向拡散CVD装置 膜反応器評価装置 ガス供給ユニット ガス配管
対向拡散CVD装置 膜反応器評価装置 ガス供給ユニット ガス配管
各種制御機器 膜モジュール・反応管 グラファイトパッキン その他の装置
各種制御機器 膜モジュール・反応管 グラファイトパッキン その他の装置
(有)ヒューモテクノロジー